电子级磷酸的纯化技术及其发展现状

摘要/Abstract

摘要： 随着半导体芯片制造业和液晶显示器(LCD)制造业向中国转移，中国将逐步成为全球较大的LCD产业基地，中国电子级磷酸的需求量将日益增长，发展电子级磷酸已成为当前精细磷化工行业发展的必然趋势。电子级磷酸广泛应用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业等方面，用作清洗和蚀刻剂。详细介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状。

关键词: 磷酸, 电子级磷酸, 纯化技术, 发展现状

Abstract: As the semiconductor chip and LCD manufacturing industries have transfered to China,China will gradually become a world′s large LCD industrial base.Demand for electronic-grade phosphoric acid in China is growing, and the expansion of electronic-grade phosphoric acid production has become the inevitable trend of the development of fine phosphate chemical industry at present.Electronic-grade phosphoric acid is widely used in large scale integrated circuit (IC),thin film liquid crystal display (TFT-LCD),semiconductor,and other microelectronics industries.Usually it is used as cleaning and etching agents.Application fields,quality standard,purification technology,and present R&D status of electronic-grade phosphoric acid at home and abroad were introduced in detail.

Key words: phosphoric acid, electronic-grade phosphoric acid, purification technology, present development status

中图分类号:

TQ126.35

刘飞, 李天祥. 电子级磷酸的纯化技术及其发展现状[J]. 无机盐工业, 2011, 43(3): 11-.

LIU Fei, LI Tian-Xiang. Purification technology of electronic-grade phosphoric acid and present development status thereof[J]. INORGANICCHEMICALSINDUSTRY, 2011, 43(3): 11-.

[1]	庄海波,杨林,邓强,叶润州,吴赵敏. 离子交换法脱除磷酸中锰离子的动态吸附研究[J]. 无机盐工业, 2021, 53(1): 18-23.
[2]	曹维文,李军,陈明,余音容,廖晓婷. 磷酸氢钙结晶聚结过程及主要影响杂质的探究[J]. 无机盐工业, 2021, 53(1): 50-53.
[3]	陈红琼,马航. 粒状重过磷酸钙游离酸控制工业试验研究[J]. 无机盐工业, 2021, 53(1): 59-61.
[4]	刘珏欣,郑承刚,叶世超. 磷酸二氢钾结晶热力学数据的测定及应用研究[J]. 无机盐工业, 2021, 53(1): 62-64.
[5]	尹伟,黄进,解田,何兵兵. 磷酸高效分解磷矿实验研究[J]. 无机盐工业, 2020, 52(9): 34-36.
[6]	刘佩文,董鹏,孟奇,杨轩,周思源. 废旧磷酸铁锂电池正极材料固相法再生研究进展[J]. 无机盐工业, 2020, 52(9): 6-8.
[7]	王晓雄,张建刚,张文静,陈烨. 盐酸法粗磷酸中氯化钙的去除研究现状[J]. 无机盐工业, 2020, 52(8): 17-19.
[8]	王喜恒,孙文哲. 湿法磷酸过程氟回收技术研究进展[J]. 无机盐工业, 2020, 52(8): 25-29.
[9]	王国平,徐旭辉,李刚,仇旭辉,刘政委. 氯化铵蒸发器结垢成分鉴别及原因分析[J]. 无机盐工业, 2020, 52(8): 81-83.
[10]	侯黎爽,谷守玉,侯翠红,王好斌,李露毅. 响应面法优化焦磷酸钠螯合锌的制备工艺研究[J]. 无机盐工业, 2020, 52(7): 30-35.
[11]	晏波,解田,朱铧丞,杨丰明,王凤霞,谌勇. 微波加热合成聚磷酸铵的工艺研究[J]. 无机盐工业, 2020, 52(7): 42-45.
[12]	周健,汤洪波. 钨酸锌/磷酸银复合光催化剂的制备及光催化性能[J]. 无机盐工业, 2020, 52(6): 101-104.
[13]	郭举,贾双珠. 水热法一步合成磷酸铁锂及其性能研究[J]. 无机盐工业, 2020, 52(6): 36-40.
[14]	吴康,李军,陈明. 乙醇-水体系3D纳/微米球形磷酸铁的制备与表征[J]. 无机盐工业, 2020, 52(6): 41-45.
[15]	王珏,石启福,周骏宏,赵增懿,王富龙. 亚磷酸镁制备初步研究[J]. 无机盐工业, 2020, 52(6): 50-53.

首页

全国无机盐信息中心

中国化工学会

无机酸碱盐专业委员会