无机盐工业
主管：中海油天津化工研究设计院有限公司
主办：中海油天津化工研究设计院有限公司
　　　中海油炼油化工科学研究院（北京）有限公司
　　　中国化工学会无机酸碱盐专业委员会
ISSN 1006-4990 CN 12-1069/TQ

无机盐工业 ›› 2012, Vol. 44 ›› Issue (9): 51-.

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三氯氢硅气相色谱分析条件研究

杨 裴1，范国强1，白 莹1，郭永欣1，胡家啟2，叶世胜2   

  1. 1.中海油天津化工研究设计院，天津 300131；2.浙江新安化工有限公司
  • 发布日期:2012-09-11

Study on quantitative GC analysis conditions for trichlorosilane

Yang Pei1，Fan Guoqiang1，Bai Ying1，Guo Yongxin1，Hu Jiaqi2，Ye Shisheng2   

  1. 1.CNOOC Tianjin Chemical Research & Design Institute，Tianjin 300131；2.Zhejiang Xin′an Chemical Industry Group Co.,Ltd.
  • Published:2012-09-11

摘要： 对三氯氢硅气相色谱分析条件进行了研究，确定了三氯氢硅毛细管柱的色谱分析条件。采用确定的色谱分析条件进行了方法的线性范围测定，得到线性相关系数R=0.999 93。进行了方法的平行性和重复性试验，结果表明：方法的平行性好，重复性好，三氯氢硅质量分数的相对标准偏差（RSD）小于0.02%，结果令人满意。

关键词: 三氯氢硅, 气相色谱法, 毛细管柱

Abstract: Analysis conditions of trichlorosilane by gas chromatography were studied，and the optimum analysis conditions of gas chromatography with capillary column for trichlorosilane were comfirmed.The liner range of this analysis method was determined with the defined analysis conditions，and linear correlation was obtained，i.e.R=0.999 93.Parallel and repeated tests were also carried out and results showed the method had good parallelity and repeatability.The relative standard deviation（RSD） of the mass fraction of trichlorosilane was less than 0.02% and the result was satisfied.

Key words: trichlorosilane, gas chromatography, capillary column

中图分类号: 

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出版单位：《无机盐工业》编辑部
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