电子级硫酸制备工艺及发展现状

无机盐工业 ›› 2012, Vol. 44 ›› Issue (3): 8-.

电子级硫酸制备工艺及发展现状

曹攀¹，李天祥^1，2，朱静¹

1.贵州大学化学与化工学院，贵州贵阳550003；2.瓮福（集团）有限责任公司

发布日期:2012-03-12

Preparation technology and present development status of electronic-grade sulphuric acid

Cao Pan¹，Li Tianxiang^1，2，Zhu Jing¹

1.School of Chemistry and Chemical Engineering， Guizhou University， Guiyang 550003，China；2.Wengfu（Group） Co.，Ltd.

Published:2012-03-12

摘要/Abstract

摘要： 电子级硫酸广泛应用于大规模集成电路（IC）、半导体等微电子工业，用作清洗和蚀刻剂。随着中国微电子工业的高速发展，电子级硫酸的需求量日益增加，电子级硫酸有着良好的应用前景。介绍了电子级硫酸的质量标准、生产工艺、检测手段、应用、包装技术，重点介绍了近年来电子级硫酸制备技术的改进，并对电子级硫酸的发展前景进行了展望。

关键词: 电子级硫酸, 质量标准, 制备工艺, 检测

Abstract: Electronic-grade sulphuric acid is widely used in large scale integrated circuit（IC），semiconductor，and other mi- croelectronics industries，for cleaning and etching agents.With the rapid development of microelectronics industry in China，demand for electronic-grade sulphuric acid is growing and it has a very good prospect.Quality standards，preparation technology，detecting methods，applications，and packaging technology of electronic-grade sulphuric acid were reviewed，and the improvements of preparation technology in recent years were introduced in detail.Finally，the future development of electronic-grade sulphuric acid was prospected.

Key words: electronic-grade sulphuric acid, quality standard, preparation technology, detection

中图分类号:

TQ111.17

曹攀, 李天祥, 朱静. 电子级硫酸制备工艺及发展现状[J]. 无机盐工业, 2012, 44(3): 8-.

CAO Pan, LI Tian-Xiang, ZHU Jing. Preparation technology and present development status of electronic-grade sulphuric acid[J]. INORGANICCHEMICALSINDUSTRY, 2012, 44(3): 8-.

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