无机盐工业
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　　　中国化工学会无机酸碱盐专业委员会
ISSN 1006-4990 CN 12-1069/TQ
四氟化硅的工艺研发及进展状况
韩建军, 李 霞, 王建萍
Research and development on process of silicon tetrafluoride and the progress thereof
HAN Jian-Jun, LI Xia, WANG Jian-Ping
无机盐工业 . 2013, (1): 4 . 

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出版单位：《无机盐工业》编辑部
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