无机盐工业
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　　　中国化工学会无机酸碱盐专业委员会
ISSN 1006-4990 CN 12-1069/TQ
四氟化硅气体中杂质的检测方法
唐安江, 韦德举, 高珊珊, 关星宇
Detecting methods for impurities in silicon tetrafluoride gas
TANG An-Jiang, WEI De-Ju, GAO Shan-Shan, GUAN Xing-Yu
无机盐工业 . 2010, (12): 57 . 

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出版单位：《无机盐工业》编辑部
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