无机盐工业
主管:中海油天津化工研究设计院有限公司
主办:中海油天津化工研究设计院有限公司
   中海油炼油化工科学研究院(北京)有限公司
   中国化工学会无机酸碱盐专业委员会
ISSN 1006-4990 CN 12-1069/TQ
综述与专论

四氟化硅生产工艺研究进展

  • 王喜恒 ,
  • 孙文哲 ,
  • 张玲
展开
  • 上海海事大学商船学院,上海 201306
王喜恒(1997— ),男,硕士在读,研究方向为磷酸浓缩化工流程设计;E-mail:xiheng1997@163.com。

收稿日期: 2019-07-26

  网络出版日期: 2020-02-26

基金资助

上海市科委项目(16040501600);川屹节能科技(上海)有限公司技术改造资助项目

Research progress in production process of silicon tetrafluoride

  • Xiheng Wang ,
  • Wenzhe Sun ,
  • Ling Zhang
Expand
  • Merchant Marine College,Shanghai Maritime University,Shanghai 201306,China

Received date: 2019-07-26

  Online published: 2020-02-26

摘要

四氟化硅作为生产多晶硅及其衍生物的原料,随着电子工业的发展以及硅基产业的扩大,对于四氟化硅的需求量逐渐增加。对四氟化硅生产工艺的研究越来越引起人们的重视。详细介绍了制备四氟化硅的4种方法,含硅源物质与含氟基团物质合成法、氟硅酸盐热解法、氟硅酸法、硫酸法,综述了国内外制备四氟化硅的研究进展情况,并评述了各工艺的特点。就目前研究表明,四氟化硅制备工艺需向环保、节能、高收率方向发展。

本文引用格式

王喜恒 , 孙文哲 , 张玲 . 四氟化硅生产工艺研究进展[J]. 无机盐工业, 2020 , 52(1) : 35 -38 . DOI: 10.11962/1006-4990.2019-0098

Abstract

SiF4 is used as a raw material for the production of polycrystalline silicon and its derivatives.With the development of information technology and the advancement of silicon-based industry,the demand for SiF4 is increasing. Meanwhile,the research on production process of SiF4 has attract more and more attention.Four methods for preparing SiF4,such as synthetic method of substance containing Si and substance containing F group,hexafluorosilicate pyrogenetic method,hexafluorosilicic acid method and sulfuric acid method,were introduced in details. The research progress in production process of silicon tetrafluoride at home and abroad was summarized.The characteristics of the preparation processes were discussed.The present research showed that the SiF4 preparation process should develop in the direction of environmental protection,energy saving and high yield.

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